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                              【波音bbin真正官网】过程及工艺监测手机HPA/SPM220

HPA220是一款高压手机,其进样手机范围从新到50mbar.    

- HPA220具有多个数字量或者模拟量通讯接口

- 结构紧凑,非常易于集成

- 通过一台PC机即可方便的操作

技术参数:

质量数(可选):1-100amu, 1-200amu,1-300amu

最小检测极限:1X10-14 hPa

进样手机(可选):1mbar, 8mbar, 50mbar

重量:15Kg

 

SPM 220是专为镀膜工艺过程中的新监测设计研发的

SPM 220 优势:
镀膜工艺监测器离子源,适用于瞬时过程监测
对新H2、O2、H2O 和 CO2 优秀检测极限
对bbin结果的最小化背景影响
手机高达 10 hPa 的压差版本
多重操作允许带单个 PC 的多个手机系统进行数据评估
紧凑设计,易于系统集成
通过各种数字和模拟输入和输出

技术参数:

质量数(可选):1-100amu, 1-200amu

检测极限(氩中):二氧化碳< 100 ppb

检测极限(氩中):氧气< 100 ppb

检测极限(氩中):水蒸气< 500 ppb or < 6000 ppb

进样手机(可选):1mbar, 8mbar, 10mbar

重量:13Kg

 

 

 




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